Corso di
MICRO-NANO SISTEMI E TECNOLOGIE

Scheda

Docente

Programma

Introduzione.

− Circuiti integrati (l'incredibile legge di Gordon Moore). Micro-nano-sistemi ("A friend of mine (Albert R. Hibbs) suggests..., although it is a very wild idea, it would be interesting in surgery if you could swallow the surgeon...”, Richard Feynman, "There's Plenty of Room at the Bottom”, 1959). Scaling laws. Micro-nano-sistemi: complessità e opportunità uniche (CMOS, "swallow the surgeon”, etc.). Elettronica analogica, elettronica digitale, smart systems, etc.

Strumenti per l'analisi e il progetto di micro-nano-sistemi.

− Analisi e progetto di micro-nano-sistemi lineari tempo invarianti (trasformata di Fourier, trasformata di Laplace, diagrammi di Bode, criterio di Nyquist, stima degli zeri e dei poli di un micro-nano-sistema). Linearizzazione di sistemi non lineari. Circuiti equivalenti. Esempi (micro-nano-sistemi termici, meccanici, piezoelettrici, etc.)

Tecnologie di fabbricazione.

− Ossidazione del silicio. Deposizione di film sottili (spin coating, spray coating, sputtering, evaporazione termica, CVD, LPCV, PLD, etc.). Sintesi di nanostrutture quasi-1D (processi ad alta temperatura, wet-chemistry, etc.). Litografia. Etching. Bonding. Tecnologia CMOS (principi generali). Tecnologie per sistemi flessibili. Tecnologie per epidermal electronics (electronic skin, skin sensors, etc.).

Metodi di caratterizzazione di micro-nano-sistemi (AFM, SEM, etc.).

Simulazione di micro-nano-sistemi.

Micro-nano-sistemi.

− Micro-nano-sistemi termici. Circuiti integrati. Wireless health. Sistemi wearable. Implantable systems. Electronic skin (epidermal electronics, etc.). Nanostrutture quasi-1D (nanowires, ZnO nanowires, nanobelts, carbon nanotubes, etc.). 2D electronics (graphene, MoS2, Van der Waals hjeterostructures, etc.). Energy harvesting (nanogeneratori piezoelettrici e triboelettrici).

Esercitazioni.

Lezioni 2024-25

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